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SEN日森高壓汞燈光源的工作原理和產(chǎn)品特性

更新時間:2025-07-16點(diǎn)擊次數(shù):508
一、產(chǎn)品定位
SEN日森高壓汞燈光源是日本 SEN LIGHTING CORPORATION 開發(fā)的高強(qiáng)度氣體放電(HID)紫外-可見光源,專為光化學(xué)、光固化、半導(dǎo)體精密清洗、殺菌及環(huán)境試驗(yàn)等應(yīng)用設(shè)計。產(chǎn)品覆蓋 100 W – 5600 W 功率段,具有 365 nm 主峰輸出、石英無臭氧結(jié)構(gòu)、高光效、長壽命等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于 UV 固化機(jī)、曝光機(jī)、清洗機(jī)及科研級光反應(yīng)器。
二、產(chǎn)品特性
光譜特性
• 主峰波長:365 nm(i-line),輔以 313 nm、334 nm、404.7 nm、435.8 nm、546.1 nm 等多條強(qiáng)譜線,為光引發(fā)劑、光敏樹脂提供最適激發(fā)能量。
• 紫外輻照度:HL1000DL-15 在 120 mm 發(fā)光長度上可達(dá) 80 W/cm;HL400BH-8 在 80 mm 發(fā)光長度上為 50 W/cm。
結(jié)構(gòu)與材質(zhì)
• 電弧管:高純無臭氧石英(OH? < 5 ppm),透過率 > 90 %(200–400 nm),耐高溫 1000 ℃ 沖擊。
• 外泡殼:高硼硅或硬質(zhì)石英,內(nèi)表面可選鍍遠(yuǎn)紅外反射層,提高能量利用率 8–12 %。
• 電極:釷鎢陰極 + 純鉬箔非匹配封接,保證 5×103 次以上熱循環(huán)可靠性
功率與規(guī)格
表格
型號功率電流全長發(fā)光長適用機(jī)型
HL100G100 W1.2 A170 mm30 mmHLR100T-2
HL400BH-8400 W3.3 A220 mm80 mmHLR400F-21
HL1000DL-151000 W8.3 A260 mm120 mmHLR1000F-29
HL2000DL-12000 W8.0 A400 mm250 mmHLR2000-21
HL5600DL-15600 W7.5 A850 mm700 mmHLR5600B-23
  1. 壽命與經(jīng)濟(jì)性
    • 額定壽命:≥ 1200 h(L70,即 70 % 紫外維持率);
    • 光效:35–50 lm/W(可見區(qū)),紫外轉(zhuǎn)換效率 18–22 %;
    • 低衰減:1000 h 后 365 nm 強(qiáng)度衰減 < 15 %。
  2. 冷卻與安全
    • 強(qiáng)制風(fēng)冷:配套風(fēng)機(jī)風(fēng)量 ≥ 5 m3/min(1000 W 級),確保外殼溫升 < 60 K;
    • 水冷選項(xiàng):HL5600DL-1 可選水冷套,流量 ≥ 8 L/min,溫升 < 15 K;
    • 安全聯(lián)鎖:燈管未冷卻至 < 80 ℃ 時禁止二次觸發(fā),防止爆管。
  3. 兼容電源
    • 專用鎮(zhèn)流器:恒功率型電子鎮(zhèn)流器,功率因數(shù) > 0.98,支持 0–100 % 線性調(diào)光;
    • 觸發(fā)器:脈沖啟動 3–5 kV,上升沿 < 5 µs,保證冷啟動一次點(diǎn)亮;
    • 保護(hù):過壓、過流、過溫、燈管失效報警,RS-485 遠(yuǎn)程監(jiān)測。
三、工作原理
  1. 放電建立
    高壓汞燈屬于弧光放電光源。通電后,觸發(fā)器在電間施加 3–5 kV 脈沖,擊穿稀有氣體(氬或氙)形成輝光放電;放電加熱液態(tài)汞,汞蒸氣壓在 2–15 atm(0.2–1.5 MPa)范圍進(jìn)入高壓狀態(tài),電子與 Hg 原子碰撞激發(fā),產(chǎn)生 365 nm 等特征輻射。
  2. 光譜形成
    • 高壓汞蒸氣對 253.7 nm 共振線自吸收增強(qiáng),能量轉(zhuǎn)移至 365 nm、404.7 nm、435.8 nm、546.1 nm 等譜線;
    • 無臭氧石英管壁阻隔 185 nm 真空紫外,避免臭氧生成,提高燈室安全性。
  3. 穩(wěn)態(tài)運(yùn)行
    電子鎮(zhèn)流器提供恒功率方波電流,維持電弧穩(wěn)定;管壓隨溫度升高而上升,鎮(zhèn)流器自動調(diào)整電流,確保光通量恒定。燈管熄滅后需自然冷卻 5–10 min,待蒸氣壓降低后方可重新觸發(fā)。
四、應(yīng)用領(lǐng)域
  1. UV 固化:油墨、涂料、粘合劑在 365 nm 下快速交聯(lián)硬化;
  2. 半導(dǎo)體:ITO/石英晶片光刻膠曝光、晶圓背面清洗;
  3. 環(huán)境工程:光催化水處理、光氧化 VOCs 降解;
  4. 殺菌消毒:365 nm+254 nm 復(fù)合燈管用于空氣及表面殺菌;
  5. 科研:光化學(xué)反應(yīng)器、熒光激發(fā)、材料老化試驗(yàn)。
五、安裝與維護(hù)
  1. 安裝
    – 燈管水平±5° 安裝,避免電弧彎曲導(dǎo)致管壁過熱;
    – 風(fēng)冷機(jī)型保持進(jìn)/出風(fēng)口無遮擋,水冷機(jī)型確保去離子水 < 20 µS/cm。
  2. 維護(hù)周期
    – 每周:檢查石英管表面污染,用無水乙醇+無塵布清潔;
    – 每月:測試鎮(zhèn)流器輸出電流、電壓,校準(zhǔn)紫外照度計;
    – 每 1000 h:更換風(fēng)機(jī)濾網(wǎng),檢查電極燒蝕情況。
  3. 報廢處理
    – 燈管含汞,按《國家危險廢物名錄》HW29 類處置;
    – 交由具備資質(zhì)單位回收,破碎前在負(fù)壓箱內(nèi)收集汞珠。
六、總結(jié)
SEN日森高壓汞燈光源以 365 nm 主峰、高紫外強(qiáng)度、長壽命及多樣化功率規(guī)格,為工業(yè) UV 固化、半導(dǎo)體制造及科研實(shí)驗(yàn)提供了可靠、高效、經(jīng)濟(jì)的紫外-可見輻射源。配合專用電源與冷卻系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn) 24 h 連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行,滿足現(xiàn)代制造對光化學(xué)工藝的嚴(yán)苛要求。


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